技術(shù)應(yīng)用鏈接:
Tetra 120 LF-PC | 特殊設(shè)備
開關(guān)柜: 寬 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm
腔室: 寬 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
腔室容積: 約120 升
氣體供給: MFC 控制的氣體通道
發(fā)生器: 40 kHz,13.56 MHz
控制系統(tǒng): PC 控制系統(tǒng) (Windows)
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關(guān)鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra120
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