技術應用鏈接:
Tetra 1200 LF-PC | 特殊設備
開關柜:寬 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm
腔室:寬 600、高 1000 mm、深 2000 mm
腔室容積:約 1200 升
氣體供給:通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發生器:3 個(各為 40 kHz)
控制系統:配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)
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關鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra1200
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