射頻發生器(RF)
（1）電路類型：電容三點式自激振蕩電路。
(2)工作頻率：40.68MHz
(3)頻率穩定性：<0．1％
(4)輸出功率：800-1200W
(5)輸出功率穩定性：≤0.3％
(6)電磁場泄漏射強度：距機身30cm
電場強度E：<2V／m
進樣裝置
(1)輸出工作線圈內徑25mm．3匝
(2)炬管：三同心型．外徑20mm的石英炬管
(3)同軸型噴霧器外徑6mm
(4)雙筒形霧室外徑34.5mm
(5)氣路：
①等離子氣流量計(100—1000)L／h (1.6—16L/min)
②輔助氣流量計 (10-100)L／h (0.16—1.66L/min)
③載氣流量采用質量流量計 由計算機控制 （0—5L/min）
分光器
(1)光路：Czerny—Turner
(2)焦距： 1000mm
(3)光柵規格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線／mm，刻線面積：80×1 10mm2
(可選用刻線密度2400線／mm，刻線面積：80×1 10mm2)
(4)線色散率倒數：0 26nm/mm (刻線密度3600線／mm)
(5)分辯率：≤0.008nm (刻線密度3600線／mm)
(6)掃描波長范圍：3600線／mm掃描波長范圍：1 95—500nm
2400線／ram掃描波長范圍：1 95—800nm
(7)步進電機驅動*小步距：0 0006nm
(8)出射、入射狹縫：20um
(9)反射鏡規格：(78×105×1 6)mm
(1 0)透鏡ф30，1：1成像
(1 1)分光器恒溫裝置：32。C±1。C
測光裝置
(1)光電倍增管規格：R21 2UH或R928
(2)光電倍增管負高壓：200—1000V穩定性<0.05％
(3)光電倍增管電流測量范圍：1 0-4～1 0-9 A
(4)信號采集為V／F交換： 1 mV對應100Hz
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