大型抽屜式UV光清洗機適用中大型基片等清洗,如液晶面板,ITO導電玻璃,晶圓,OLED,LCD,硅片,陶瓷,金屬片,聚合物,硅膠等表面清洗,用于清洗產品的表面有機物,即進行表面改質,從而獲得較好的親水性,可根據客戶要求進行客戶化設計。
產品配置
整機采用不銹鋼304制作,關鍵元器件采用施耐德,歐姆龍等品牌;
電源:220V;
燈管:根據客戶需求定制燈管功率及尺寸,壽命5000小時;
主要工作光譜:185nm+254nm;
有效清洗面積:350*350MM,320*380MM或客戶尺寸
清洗時間控制器:0-99.99小時或分鐘;
安全防護功能:當清洗腔門打開時,燈管自動熄滅;
照射高度:可定制
UV ON/OFF指示,異常指示/警報;
燈管預熱:具燈管預熱提示功能,使清洗數據更精準;
加熱(選配):可選擇加配外置加熱平臺,溫度范圍:常溫-450攝氏度;
排風功能:自帶臭氧排風系統,可分檔調節風速,8cm直徑出風口,配置風管及緊固件;
應用領域
■在進行薄膜沉積之前*行基片清洗。清除浮渣和穩定化處理光刻膠。超高真空度密封。
■清洗硅芯片,透鏡,反光鏡,太陽能面板,冷軋鋼,慣性引導零件和 GaAs芯片
■清潔焊劑,混合電路以及平板LCD顯示器
■蝕刻特氟隆,氟橡膠以及其它有機材料
■增強GaAs 和Si氧化物鈍化表面
■增強玻璃的除氣作用
■基片藍膜去除
■增強塑料表面的鍍膜的粘附性
■基片終測后墨跡清楚
■去除光刻膠
■平板顯示器/液晶顯示器
■去除光刻機臺上的光刻膠殘留物
■在電路板封裝和打片之前清洗)
■光纖
■增強表面親水特性
■為生物科學應用做清洗和消毒
■光學透鏡
■其它應用