儀器名稱：納米壓痕儀
型 號：Keysight G200
檢測項目：壓痕、劃痕、壓痕形貌掃描
應用范圍：
壓痕/劃痕測試儀的基本功能是對材料的硬度、彈性模量、斷裂韌性、蠕變、摩擦、磨損性能等進行測定，涉及的材料幾乎涵蓋所有的材料研究領域，包括薄膜和納米材料
1.測量各種薄膜材料包括離子注入材料，化學鍍，氣相沉積，多層膜等材料的硬度和彈性模量；
2.測量多相金屬材料，復合材料中某一相的硬度和彈性模量及界面區域的硬度分布。
制樣要求：
試樣建議
(1) 類型I – 薄片：水平尺寸5mm×5mm~20mm×20mm，厚度0.5mm~6mm。
(2) 類型II – 圓柱：直徑Φ31mm，厚度20mm~25mm，通常為鑲樣。
(3) 表面質量：待測表面為光滑表面(Ra<10nm)或超光滑表面(Ra<1nm)。
(4)被測表面硬度超過20Gpa或磨損實驗請自備壓針（2.4萬/支）。
1.試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數據可靠度不高；
2.樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；
3.對于表面比較粗糙的樣品，測試結果會比較離散，建議測試點數不低于10個；
4.上下表面平行拋光，直徑不超過30mm，高度不超過20mm，如果高度超過10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測試過程中的穩固；如果是鑲的樣品，務必加工成直徑30mm，要不然容易打偏；
