一、什么是超純水：
超純水是為了研制超純材料半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，其電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值25℃）。簡(jiǎn)單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。這樣的水是一般工藝很難達(dá)到的程度，理論上可以采用二級(jí)反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對(duì)二次反滲水進(jìn)行處理，但是交換樹脂的再生不便，質(zhì)量難以保證。
二、超純水的應(yīng)用：
1）電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
2）化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
3）單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
三、純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥簡(jiǎn)介：
純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥是一套無需外加能源，利用被調(diào)介質(zhì)本身壓力變化而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)，使閥后壓力恒定，整機(jī)具有動(dòng)作靈敏、控制壓力波動(dòng)小、節(jié)約能源。ZZYVP-16B、ZZVP-16K純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥是一套自力式微壓力控制系統(tǒng)，用于保持容器頂部保護(hù)氣(一般為氮?dú)?的壓力恒定，以避免容器內(nèi)物料與空氣直接觸，防止物料揮發(fā)，被告氧化，以及容器的安全。應(yīng)用各類大型儲(chǔ)罐的氣封保護(hù)系統(tǒng)。當(dāng)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，供氮閥打開補(bǔ)充罐內(nèi)氮?dú)鈮毫Γ划?dāng)罐內(nèi)壓力超高時(shí)，泄氮閥打開自動(dòng)泄壓。始終保護(hù)罐內(nèi)壓力恒定。
純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥采用動(dòng)力源與信號(hào)點(diǎn)分開檢測(cè)的方法，外加可調(diào)節(jié)流裝置，使整臺(tái)閥門的調(diào)節(jié)精度大大提高，減壓比最大可達(dá)2000:1。廣泛應(yīng)用于各種氣體減壓穩(wěn)壓的自動(dòng)控制場(chǎng)合，特別適合作為氮封的供氮閥使用，具有持續(xù)供氮壓力波動(dòng)小、反應(yīng)靈敏等特點(diǎn)。
四、超線水箱氮封系統(tǒng)工作原理：
當(dāng)儲(chǔ)罐出水閥開啟，放料時(shí)，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)氮?dú)鈮毫档停琙ZYVP-16B供氮閥開啟，向儲(chǔ)罐注入氮?dú)猓迌?nèi)氮?dú)鈮毫ι仙?dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮閥壓力設(shè)定值時(shí)，供氮閥自動(dòng)關(guān)閉。
當(dāng)儲(chǔ)罐進(jìn)水閥開啟，進(jìn)料時(shí)，液面上降，氣相部份容積減小，罐內(nèi)壓力升高，當(dāng)高于ZZVP-16K泄氮閥壓力設(shè)定值時(shí)，泄氮閥打開，向外界釋放氮?dú)猓迌?nèi)氮?dú)鈮毫ο陆担抵列沟y壓力設(shè)定值時(shí)，泄氮閥自動(dòng)關(guān)閉。
五、氮封系統(tǒng)壓力調(diào)節(jié)閥流體流速的計(jì)算方法及選取方式：
在實(shí)際應(yīng)用過程中調(diào)節(jié)閥的出品流速直接影響著整個(gè)控制閥的可靠性、穩(wěn)定性和使用壽命。閥門出口流速過快，導(dǎo)致高速流動(dòng)的介質(zhì)在調(diào)節(jié)閥中流動(dòng)時(shí)很容易使閥門產(chǎn)生嚴(yán)重沖刷和不規(guī)則的振動(dòng)，破壞閥體及內(nèi)部零件，同時(shí)會(huì)產(chǎn)生很大的噪聲，因此在調(diào)節(jié)閥選型過程中，在確定了調(diào)節(jié)閥型號(hào)后，應(yīng)首先計(jì)算一下出口流速（特別介質(zhì)為氧氣一類時(shí)），然后再選擇閥門的口徑和材質(zhì)。
流速是單位時(shí)間內(nèi)流體的流動(dòng)速度，調(diào)節(jié)閥流速一般是指閥門出品介質(zhì)的流動(dòng)速度，主要與流體類、閥前后壓差、配管口徑及材料等因素有關(guān)，下面簡(jiǎn)單介質(zhì)一下不同流體的流速計(jì)算方法及選取原則。
流速計(jì)算方法：
1、液體場(chǎng)合
V=0.408×Q/D2
流速V-ft/s；流量Q-usgal/min(GPM)；閥出口直徑D-in。
2、壓縮氣體場(chǎng)合
（1）首先計(jì)算音速C
（2）計(jì)算調(diào)節(jié)入口及出口馬赫數(shù)
（3）計(jì)算流速V
V=cM，其中C-流體音速，ft/s
K-比熱比 g-重力加速度
R-氣體常數(shù) T-流體溫度
A1-閥入口面積 A2-閥出口面積
P1-閥入口壓力 P-閥前后壓差
Cg-氣體流量系數(shù) Cv-氣體流量系數(shù)
C1-Cg/Cv Cv-氣體流量系數(shù)
M2-出口馬赫數(shù) M1-入口馬赫數(shù)
六、規(guī)格用技術(shù)參數(shù)：
主要參數(shù)及主要性能指標(biāo)見表一 表一
| 公稱通徑DN（mm） | 20 | 25 | 40 | 50 | 80 | 100 | 150 | ||||||
| 閥座直徑（mm） | 6 | 15 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | 125 | 150 | |
| 額定流量系數(shù)Kv | 0.32 | 5 | 8 | 11 | 20 | 30 | 48 | 75 | 120 | 190 | 300 | 480 | |
| 壓力調(diào)節(jié)范圍KPa | 0.1～0.5、0.4～5.0、4.0～12.0、 | ||||||||||||
| 公稱壓力PN（MPa） | 1.6 | ||||||||||||
| 被調(diào)介質(zhì)溫度（℃） | -5～+100 | ||||||||||||
| 流量特性 | 快開 | ||||||||||||
| 調(diào)節(jié)精度（%） | ≤±5 | ||||||||||||
| 執(zhí)行機(jī)構(gòu)有效面積（cm2） | 100 | 200 | 280 | 400 | |||||||||
| 信號(hào)接口 | 內(nèi)螺紋M10×1.5 | M16X1.5 | |||||||||||
2、壓力調(diào)節(jié)范圍見表二 表二
| 壓力調(diào)節(jié)范圍（KPa） | 指揮器膜室 有效面積（cm2） | 執(zhí)行機(jī)構(gòu)膜室 有效面積（cm2） | 使用閥門口徑（mm） |
| 0.1～0.5 | 1200 | 100 | 20～32 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 | ||
| 0.1～0.5 | 1200 | 200 | 40～50 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 | ||
| 0.1～0.5 | 1200 | 400 | 65～100 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 | ||
| 0.1～0.5 | 1200 | 600 | 125～150 |
| 0.4～5.0 | 600 | ||
| 4.0～12.0 | 400 |
3、主要零件材料見表三 表三
| 零 件 名 稱 | 材 料 |
| 氣動(dòng)活塞式執(zhí)行機(jī)構(gòu)，指揮器 | 組合件 |
| 閥體，閥蓋 | ZG230-450，ZG0Cr18Ni9Ti，ZG0Cr18Ni12Mo2Ti |
| 推桿，閥桿 | 2Cr13，1Cr18Ni9 |
| 閥座 | 1Cr18Ni9Ti |
| 閥芯（軟密封）/填料 | 聚四氟乙烯 |
| 膜片 | 丁腈橡膠夾增強(qiáng)滌綸織物/四氟膜片/氟橡膠膜片 |
| 彈簧 | 1Cr18Ni9Ti、60Si2Mn |
七、壓力調(diào)節(jié)閥的流量特性：
八、典型的安裝方式：
