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美國MTI 300I 無接觸式硅片測量儀 進口硅片測試裝置

參考價 65000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京菁美瑞科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2021/12/7 11:45:12
  • 訪問次數469
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“菁美瑞"專注服務于科研、科教、醫療、環保、石油、化工等領域,經過數年的不斷努力,我們的產品及服務深受眾多科研單位、高等院校、環監質檢部門、醫療衛生行業的廣泛認可,并建立了長期供應關系。

 

憑借著多年來良好的口碑,“菁美瑞"除了運營自主研發、生產的儀器設備以外,同時與國內外眾多儀器制造廠商達成戰略合作關系,在龐大的業內資源體系下,可實現量身定制、設備代采、售后對接等多方位的服務支持!

 

待盼與您相遇,吾愿一路相伴!



美國kessil光催化燈,美國ILT輻照計,水平旋轉儀,梅毒振蕩器,血液混勻器,無菌薄膜過濾器,博物 館恒溫恒濕機,瑞士IMT呼吸裝置質量檢測儀(模擬肺),葉面積指數檢測儀,浮標式氧氣吸入器檢定校驗裝置
品牌 美國MTI 型號 300I
用途 測量硅片厚度 產地 美國
可售賣地 全國 別名 手動半導體計量系統
美國MTI 300I 無接觸式硅片測量儀 進口硅片測試裝置
可以測量硅片厚度、總厚度變化 TTV 、彎曲度,該儀器適用于 Si , GaAs , InP , Ge 等幾乎所有的材料,所有的設計都符合 ASTM( 美國材料實驗協會 ) 和 Semi 標準,確保與其他工藝儀器的兼容與統一。
美國MTI 300I 無接觸式硅片測量儀 進口硅片測試裝置 產品信息

美國MTI 300I 無接觸式硅片測量儀 進口硅片測試裝置




產品簡介:

美國MTI的晶圓全檢儀可以測量硅片厚度、總厚度變化TTV、彎曲度、翹曲度、單點和總體平整度,該儀器適用于Si,GaAs,InP,Ge等幾乎所有的材料,強大的軟件功能能夠在幾秒內測試硅片的厚度、總厚度變化TTV、彎曲度、翹曲度、單點和總體平整度,所有的設計都符合ASTM(美國材料實驗協會)和Semi標準,確保與其他工藝儀器的兼容與統一。可用于75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm多種尺寸。


產品特點:

 無接觸測量
 適用的晶圓材料包括Si,GaAs,InP,Ge等幾乎所有的材料
 厚度和 TTV 測量采用無接觸電容法探頭
 高分辨率液晶屏顯示厚度和 TTV 值
 性價比高
 菜單式快速方便設置
 高分辨率液晶 LCD 顯示
 提供和計算機連接的輸出端口
 提供打印機端口
 便攜且易于安裝
 為晶圓硅片關鍵生產工藝提供精確的無接觸測量
 高質量微處理器為精確和重復精度高的測量提供強力保障
 高質量 聚四氟乙烯晶圓測試架,為晶圓硅片精確定位提供保障


技術指標:

 晶圓硅片測試尺寸: 50 mm - 300mm.
 厚度測試范圍: 1000 u m , 可擴展到 1700 um.
 厚度測試精度: +/-0.25um
 厚度重復性精度: 0.050umm

 TTV 測試精度 : +/-0.05um
 TTV 重復性精度 : 0.050um

 彎曲度測試范圍: +/-500um [+/-850um]
 彎曲度測試精度: +/-2.0umm
 彎曲度重復性精度: 0.750umm

 晶圓硅片導電型號: P 或 N 型
 材料: Si , GaAs , InP , Ge 等幾乎 所有半導體材料
 可用在: 切片后、磨片前、后, 蝕刻,拋光 以及出廠、入廠質量檢測等
 平面 / 缺口:所有的半導體標準平面或缺口
 硅片安裝:裸片,藍寶石 / 石英基底, 黏膠帶
 連續 5 點測量


應用范圍:

> 切片
  >>線鋸設置
    >>>厚度
    >>>總厚度變化TTV
  >>監測
    >>>導線槽
    >>>刀片更換
>磨片/刻蝕和拋光
  >> 過程監控
  >> 厚度
  >>總厚度變化TTV
  >> 材料去除率
  >> 彎曲度
  >> 翹曲度
  >> 平整度
> 研磨
  >> 材料去除率
> 終檢測
  >> 抽檢或全檢
  >> 終檢厚度


美國MTI 300I 無接觸式硅片測量儀 進口硅片測試裝置

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