半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備工作原理簡介
　　海德能北京水處理公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備，隨著技術(shù)的不斷提高，應(yīng)用的范圍比較廣泛，滿足了不同行業(yè)的用水需求，下面對半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備做了一個簡單的介紹。
　　一、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備工作原理
　　EDI裝置將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。EDI工作原理如下圖所示。EDI組件中將一定數(shù)量的EDI單元間用網(wǎng)狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設(shè)置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進(jìn)入到濃水室而在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng)，成為濃水.EDI設(shè)備一般以反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電導(dǎo)率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以高達(dá)18MΩ.cm(25℃)，但是根據(jù)去離子水用途和系統(tǒng)配置設(shè)置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。

　　二、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備制備工藝
　　1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
　　2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥18MΩ.CM)(工藝)
　　3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥17MΩ.CM)(工藝)
　　4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥15MΩ.CM)(工藝)
　　5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
　　海德能水處理設(shè)備公司都專心致志、精益求精，公司將以更專業(yè)的技術(shù)、更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、更人性化的服務(wù)迎接廣大客戶，竭誠為廣大新老客戶服務(wù)。