低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)-試驗(yàn)用冷水機(jī)裝置采用國際品牌配件，性能穩(wěn)定，可連續(xù)24小時(shí)工作。
產(chǎn)品可應(yīng)用于對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部分的冷卻、對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻、分析檢測機(jī)器的發(fā)熱部分的冷卻等。
低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵發(fā)生故障的話，就需要及時(shí)有效的解決，那么一般來說，故障怎么解決好呢？
水泵故障原因分析：
水泵交流接觸器上的過載保護(hù)器動(dòng)作。
水泵電容器燒壞(單相)。
水泵本身問題，如：線圈燒壞、軸承壞死等。
水泵故障的排除方法：
輕按過流保護(hù)器中RESET復(fù)位鍵即可。
更換電容器。
更換水泵(更換水泵時(shí)應(yīng)注意水泵的轉(zhuǎn)向)。
注意事項(xiàng)：
低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)和工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)排除以上故障前都應(yīng)先檢查各電源連接線路是否有斷開、破損、短路等，避免在維修時(shí)帶來不必要的麻煩。
當(dāng)機(jī)器出現(xiàn)故障時(shí)，應(yīng)請(qǐng)專業(yè)人員進(jìn)行機(jī)器檢查維修，嚴(yán)禁在機(jī)器處理故障時(shí)將機(jī)器強(qiáng)行起動(dòng)。
工業(yè)低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)起動(dòng)、運(yùn)轉(zhuǎn)
按調(diào)度指令打開切換井的進(jìn)出水閘門，關(guān)閉其他各閘門。
水泵啟動(dòng)前，應(yīng)向填料函上的接管，引注清水潤滑橡膠軸承，待泵出水后即可關(guān)小，有水滴出為宜，檢查泵軸承位的油位，確保各處水、油路暢通。
水泵啟動(dòng)前檢查各連接部位應(yīng)無松動(dòng)，用手轉(zhuǎn)動(dòng)聯(lián)軸器，看是否靈活，泵內(nèi)是否有響聲。
低溫化學(xué)氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵啟動(dòng)時(shí)，機(jī)旁不得站人，啟動(dòng)后應(yīng)至少守機(jī)五分鐘檢查設(shè)備情況，如有不正常的振動(dòng)和聲音或出水情況有異常應(yīng)立鄖停機(jī)檢查，不允許投入運(yùn)行后隨即離開機(jī)泵。
