物理氣相沉積設備(PVD)冷水機熱力膨脹閥：熱力膨脹閥在制冷系統中既是流量的調節閥，又是制冷設備中的節流閥，它在制冷設備中安裝在干燥過濾器和蒸發器之間，它的感溫包是包扎在蒸發器的出口處。其主要作用是使高壓常溫的制冷劑液體在流經熱力膨脹閥時節流降壓，變為低溫低壓制冷劑濕蒸氣(大部分是液體，小部分是蒸汽)進入蒸發器，在蒸發器內汽化吸熱，而達到制冷降溫的目的。
物理氣相沉積設備(PVD)冷水機蒸發器：蒸發器是依靠制冷劑液體的蒸發(實際上是沸騰)來吸收被冷卻介質熱量的換熱設備。它在制冷系統中的功能是吸收熱量(或稱輸出冷量)。為了保證蒸發過程能穩定持久的進行，不斷的用制冷壓縮機將蒸發的氣體抽走，以保持一定的蒸發壓力。制冷劑：在現代工業中使用的大多數東莞物理氣相沉積設備(PVD)冷水機均使用R22或R12作為制冷劑。制冷劑是制冷系統里的流動工質，它的主要作用是攜帶熱量，并在狀態變化時實現吸熱和放熱。
當物理氣相沉積設備(PVD)冷水機故障指示燈及保護開關全部正常時，壓縮機不能啟動，請檢查：
1．溫度開關是否調得太高，或損壞；
2．切換開關是否損壞；
3．防凍開關是否損壞；
4．壓力開關是否跳脫或損壞；
5．壓縮機過載保護器是否損壞或跳脫；
6．電磁繼電器線圈是否損壞及過載保護器是否損壞；
7．水箱內是否液位過低；
8．請檢查冷凍水水流量開關是否損壞; 注：以上控制開關或線路有故障即壓縮機就不能運轉
物理氣相沉積設備(PVD)冷水機維護與保養
1．定期清洗冷凝器、蒸發器，使整機保持良好運轉；
2．保持冷卻塔清潔干凈，定期清洗，冷卻塔內不得有雜物及其它障礙物，冷卻水管路應加裝過濾器。
3．風冷式冷凍機請保持散熱器表面清潔干凈，并定期清洗，使機器保持良好的性能。
4. 冬天不用物理氣相沉積設備(PVD)冷水機是應排掉冷水機換熱器的水。防止凍裂換熱器。
