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廣電計量檢測集團股份有限公司

CVD/CVI/PECVD系統 高溫燒結爐

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱蘇州哈騰科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2023/1/19 9:48:56
  • 訪問次數642
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蘇州哈騰科技有限公司作為一家高科技企業,將為世界各地的高校、科研院所和企業提供全新的材料快速燒結技術、產品和服務。將為新材料制備市場注入新的活力。

本司擁有雄厚的人力與技術基礎,目前擁有高級職稱2名,博士2名,高工5名。從工藝的制定、設備的選型到新材料的試制,我們為您提供新材料開發的流程服務,使您的研究更加高效,且具特色。

我司自主開發,國內自主研發的快速燒結技術和設備可以優化您的燒結生產工序,降低成本,提高效率,制備的產品具有優良的組織和性能。

我們提供∶金屬、陶瓷、磁性材料、鐵電材料、熱電材料等快速燒結和超高溫燒結試制服務。從實驗室到工業企業,我們建立了新材料從研發、中試到批量化生產的快速通道。*的快速燒結技術和設備將為客戶提供重要的競爭優勢。

通過我司技術人員的通力合作,發現和掌握了一種新型電場輔助燒結原理和技術。全新的場輔助燒結技術,通過直流電流加熱和軸向壓力,快速實現致密燒結和高溫合成。全自動程序控制的電流調節可以在最短的時間內活化燒結過程。整個致密化過程的時間可以減少到幾十秒~幾分鐘,顯著改善了微觀組織,提高了性能。

該技術與SPS相比,沒有使用昂貴且難以精確控制的脈沖電源。結合閃燒和快速高溫的優勢,該新技術展現了強大的效率優勢。更加令人欣喜的是,材料的微觀組織結構得到了優化,新材料樣品展現出令人驚嘆的優異性能。

在此基礎上,樣品尺寸越來越大以滿足更多更復雜的需求。蘇州哈騰創新的設計使得工業化生產成為可能,優秀的產品可以在流水線上連續不斷地被生產出來。





快速熱壓燒結爐,高溫真空爐,氣象沉積爐,實驗室電爐,箱式爐,管式爐
設備特點1.高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達10-4Pa
CVD/CVI/PECVD系統 高溫燒結爐 產品信息

  1. 設備特點


1.高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達10-4Pa;
2.可配合壓強控制儀控制氣體壓力,實現負壓的精準控制;
3.數字質量流量控制系統是由多路質量流量計,流量顯示儀等組成,實現氣體的流量的精密測量和控制;
4.每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統的安全性和連續均勻性;
5.采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;
6.管路采用世界Swagelok卡套連接,不漏氣;
7.超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,使用安全可靠;
8.PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,更容易發生反應。


  1. 設備參數

類別

加熱爐

射頻電源

真空系統

混氣系統

壓強控制系統

尾氣處理系統

溫度

加熱區

型式

管徑

長度

CVD

1200~1700℃

220~440mm

臥式、滑動式

Φ60~Φ100

600~1600

10Pa
1Pa
5*10-3Pa
(可選)

MFC單路或多路控制

可選

  1. 過濾
  2. 燃燒
  3. 冷凝
  4. 中和反應

(可選)

CVI

1200~1700℃

220~440mm

立式、滑動式

Φ60~Φ100

600~1600

PECVD

1200℃

220~440mm

臥式、滑動式

Φ60~Φ100

1200~1600

300~500W




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