MC012系列表面輪廓粗糙度測量儀
MC012系列(
一、
二、
1、測量原理:垂直方向:觸針法,電感傳感器;
水平方向:光柵傳感器;
2、驅動箱水平滑行范圍:
3、驅動箱滑行速度:0.1,0.2,0.5,0.8,
4、傳感器返回形式:手動,自動;
5、基準導軌的直線性:1μm/
6、驅動箱升降:滾動絲杠升降系統,機動升降,自動對準零位;
7、立柱垂直測量高度:
8、工作臺結構:
9、形狀測量系統:
1) 測量范圍:垂直
2) 測量精度:垂直±0.2%,水平±0.004%;
3) 垂直分辨力:0.06μm/
4) 水平分辨力:1μm ;
5) 測量參數:垂直距離,水平距離,兩直線夾角,圓弧半徑,圓心-直線距離、圓心-圓心距離、直線度、圓度等形位公差參數;
6) 圓形放大倍率:10000倍無級連續放大;
7) 傳感器測桿長:
8) 測針長度:
9) 針尖角度:11°;
10) 針尖半徑:25μm;
11) 測力:0.02-0.06N;
12) 傳感器滑行角度:上升角≤77°,下降角≤88°;
10、微觀輪廓測量系統
1) 測量范圍:垂直400μm,水平
2) 表面粗糙度示值誤差:≤±5%;
3) 最小分辨力:垂直0.6nm,水平1μm;
4) 取樣長度:0.08,0.25,0.8,2.5,
5) 評定長度:N×k倍取樣長度,N=1,2,3,4,5;N為行程長度內任意整數倍;
6) 粗糙度測量參數:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr;
7) 波紋度測量參數:Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr;
8) 原始輪廓測量參數:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr;
9) 微觀輪廓測量參數:│X2-X1│,│Y2-Y1│;
10) 圖像分析功能:支承率曲線、幅度分布曲線、輪廓峰密度等。
11) 輪廓圖形垂直放大倍率:100000倍無級連續放大;
12) 輪廓圖形水平放大倍率:50000倍無級連續放大;
13)傳感器測針:金剛石棱錐,錐角90°,針尖半徑2μm;