搭載微軟視窗的操作系統，有*的操作性，自動測量系統，對極微小的部品，可得到很高的精度。

搭載MS-WINDOWS系統(*的操作性與高精度測定)

◆ 與IBM PC相容個人電腦

使用與IBMPC相容個人電腦，采用MS-WINDOWS軟件，使用時多彩多姿。

◆ 采用二種濾波器

采用數位式濾波器外另有機械式濾波器(兩種濾波器)，在測定時，若是的條件下，通常可得到的精度。

◆ 準直儀5種孔徑內藏式

最小的準直儀孔徑僅0.1mm，可測定極微小的部品。

標準：0.1，0.2，0.5，1.0，2.0另僃有2種特別規格可供選選購。

0.005*0.5，0.1，0.2，0.3，0.5

測量位置利用滑鼠可迅速到達

◆ 自動測定測量臺

利用滑鼠來調整測量位置，非常敏捷快速。或是測量位置已完成登錄時，可連續自動測定，利用座標補正、連結頻道，來應付各種測量軌跡。亦可用自動測定來作標準片校正。

*的顯示機能

◆ 測定部顯示書像的表示

X線照射部可由WINDOWS書面上取得照射部的表示。從準直儀照射測定物的位置，可由倍率變更機能來實現書面上測出物的放大。

◆ 在膜厚測定中的能譜表示

由多頻分析器可快速處理能譜分析。可執行測定物的能譜分析表示，操作簡單。

提升資料處理的速度

◆ 充實測量報告的作成機能

采用MS-WINDOW軟件，測定書面的拮取，非常簡便，可充實測量報告的制作機能。可同時間處理多項工作，機器在測量中亦可處理其他工作；包括如測量報告的制作。

◆ 測定物膜厚附著分布表示

以三次元圖案來表示測定物膜厚附著狀態的分布，作判定時一目了然。

鑊得安心的保證性

◆ 自己診斷機能及X線管保養機能

自己診斷機能，迅速的對策來排除機器的困擾。附有X線管的使用時間及耐久時間表示機能，可加強維護保養的安全性