產(chǎn)品詳細(xì)介紹：
GZK-PID-VRD24是一款低真空恒壓控制系統(tǒng)，內(nèi)部含一抽速可達(dá)6.6L/s的雙級(jí)旋片機(jī)械泵VRD-24，通過PID控制真空泵的轉(zhuǎn)速來控制抽氣速率，進(jìn)而獲得對(duì)腔室內(nèi)壓力的精密測(cè)量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設(shè)備結(jié)合，實(shí)現(xiàn)PVD、CVD以及PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制。廣泛應(yīng)用于擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器中。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 含一雙旋片機(jī)械泵VRD-24，抽速可達(dá)6.6L/s ? PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項(xiàng)工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷 ? 通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進(jìn)氣量、漏氣率相匹配，從而達(dá)到精確的恒壓控制 |
輸入電源 | ? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz ? 功率為1000W |
真空測(cè)量單元 | ? 型號(hào)：PGC-554-LD ? 測(cè)量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度： 3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5 |
真空泵系統(tǒng) | ? 機(jī)械泵型號(hào)：VRD-24 ? 抽速：6.6L/S ? 進(jìn)氣口：KF25 ? 工作環(huán)境溫度：5-40℃ ? 噪音：≦58 dB ? 極限真空度：3*10-4 torr（不帶負(fù)載） |
| ? 壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進(jìn)氣量為500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進(jìn)氣量為300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進(jìn)氣量為100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進(jìn)氣量為50sccm） ? 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10） ＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） |
外型尺寸 | ? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
產(chǎn)品重量 | ? ~40kg |
質(zhì)保期 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
應(yīng)用 | ? 此系統(tǒng)配套上相應(yīng)的不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)可以和本公司的真空管式爐和CVD、PECVD系統(tǒng)相連接，實(shí)現(xiàn)氣氛的恒壓控制。 ? 此系統(tǒng)與本公司磁控濺射儀等鍍膜設(shè)備匹配使用，可實(shí)現(xiàn)反應(yīng)磁控濺射的氣氛恒壓控制。
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