特點
- 全自動晶圓處理和測試提升效率
- XRF系統具有出色的檢測器靈敏度和高分辨率
- XRF系統配備多毛細管光學元件,是測量微點技術的者
- 精確測試直徑達10µm的結構
- 自動模式識別精確定位測量位置
- 多種操作模式;需要時可手動測量
- 靈活:擴展底座可用于FOUP、SMIF和晶圓盒,適用于6英寸、8英寸和12英寸晶片
應用
鍍層厚度測量
- 納米級金屬化層(UBM)
- 銅柱上的薄無鉛焊料蓋
- 極小的接觸面和其他復雜的2.5D / 3D 復合應用
材料分析
- C4和較小的焊點
- 銅柱上的無鉛焊料蓋
晶圓微結構的自動測量系統
FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μSEMI專為半導體行業中的質量控制而設計,可全自動精確測量晶片上的微結構。 整個自動化裝置是封閉的,非常適合在潔凈室使用。 FOUP和SMIF吊艙可以自動對接至測量系統。 XDV-μ SEMI內部的處理和測量*無需人工干預。 通過模式識別功能,X-RAY 可以精確可靠地定位到的測量位置。 這種自動測量過程排除了手工處理造成的損壞和污染,并確保了檢驗有價值的晶圓的高速率。