詳細參數(shù)：
電子光學系統(tǒng)
電子槍：K型預對中鎢燈絲陰極（原裝日本進口，壽命可達250小時）分辨率：二次電子像分辨率優(yōu)于3.0nm@30kV
加速電壓范圍：0－30kV，步進式連續(xù)可調(diào)（0～10kV步進量為100V，10kV～30kV步進量為1kV）
放大倍數(shù)范圍：16X－600,000X（可定制）
透鏡系統(tǒng)
三級電磁透鏡系統(tǒng)：雙級可變聚焦電磁聚光鏡，高性能錐形電磁物鏡
三個物鏡光闌，在真空外可調(diào)，X/Y方向微調(diào)；無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌
真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)：1臺磁懸浮渦輪分子泵，1臺機械泵組成的機組
全自動真空控制，具有真空互鎖功能
樣品室及樣品臺（可定制）：
五軸樣品臺
樣品臺行程：
X:0-80mm；Y:0-60mm；Z：0-50mm；R：360°連續(xù)；T：-5°-﹢95°
載入樣品：φ175mm ，高度：60mm；觀測范圍：60mm
樣品臺具有接觸報警與自停功能
探測器：
二次電子探測器
背散射電子探測器
樣品室紅外CCD相機
成像模式：同時得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像
可選配能譜儀
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