• 顯微分光厚膜儀應用特點：

      1.反射對物鏡片實現透明基板的高精度測定

       如果是透明基板，因里面的反射光而無法正確測出膜厚。通過反射対物鏡片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可測出高精度的膜厚。特別是對帶有光學非均質的基板效果很好。

      2.顯微分光厚膜儀在微小區域測定所瞄定的模式或部位

      在軟件上通過同時顯示樣品畫面和測定光采取部位，可很好的確認到測定點。特別是對有微小點（直徑≥3μm）的形狀的樣品。

      3.顯微分光厚膜儀在紫外區域實現極薄膜的測定

      在光干涉法中，膜越薄反射率的變化就越小。在紫外區域，由于膜厚反射率的變化相比可視區域要大，如果厚度為1nm左右的極薄膜，在紫外區域的測定效果很好。

     4.顯微分光厚膜儀在近紅外區域實現帶色樣品的測定

      在可視區域，即使時吸收較強的彩色膜等帶色的樣品，在近紅外區域幾乎會變得很透明，所以在近紅外區域的測定效果很好。

      5.自動XY平臺實現多點自動檢測

      OPTM標配XY自動平臺，僅需輸入坐標即可自動多點檢測大面積樣品， 實時獲取厚度分布圖。平臺設有防誤觸光欄，避**測過程誤觸。平臺尺寸200mm×200mm，可以檢測12寸晶圓。

      6.顯微分光厚膜儀的操作便捷，檢測時間短

      QC模式—點擊即檢測；

      R&D模式—非標準樣品檢測時間小于1s。