儀器特點
◆ 超精密全自動測量，四軸CNC控制；
◆ 精密花崗巖機臺，精度高，穩(wěn)定性好；
◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng)；
◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩(wěn)定性好；
◆ 進口自動變倍光學鏡頭，可實現(xiàn)自動變倍測量；
◆ 可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、432、542等。
應用行業(yè)
機械、電子、模具、注塑、五金、橡膠、低壓電器，磁性材料、精密五金、精密沖壓、接插件、連接器、
端子、手機、家電、計算機（電腦）、液晶電視(LCD)、印刷電路板（線路板、PCB）、汽車、科研、
鐘表、儀器儀表等。
測量對象
LCD、FPC、PCB、線路板、螺絲、彈簧、鐘表、手表、儀表、接插件（連接器、接線端子）、齒輪、凸輪、螺紋、半徑樣板、螺紋樣板、電線電纜、刀具、軸承、五金件、沖壓件、篩網、試驗篩、水泥篩、網板（鋼網、SMT模板）等。
測量元素
長度、寬度、高度、孔距、間距、Pin間距、厚度、圓弧、直徑、半徑、槽、角度、R角等。
儀器特點
◆ 配置，超精密全自動測量，四軸CNC控制；
◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng)；
◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩(wěn)定性好；
◆ Navitar自動變倍光學鏡頭，可實現(xiàn)自動變倍測量；
◆ 全鼠標、手柄操作，簡單易用；
◆ 可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ Vispec全自動影像測量軟件（版）；
◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、332、432、442、542等。
技術參數(shù)：
| VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | ||
| 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1040×700×1620 | 1040×700×1620 | 1240×800×1620 | 1440×900×1620 | |
| 重量(kg) | 150 | 160 | 200 | 250 | |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| 測量精度 | XY軸* | E2=(2.0+L/300)μm | E2=(2.5+L/300)μm | ||
| Z軸** | E1=(5.0+L/200)μm | ||||
| 速度 | XY軸 | 200mm/S | |||
| Z軸 | 100mm/S | ||||
| 光柵尺 | Renishaw光柵尺，0.4μm分辨率 | ||||
| CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 表面光 | 6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調 | ||||
| 同軸光 | LED冷光源，256級亮度可調 | ||||
| 光學系統(tǒng)*** | Navitar 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326 | ||||
| 軟件 | Vispec測量軟件（版） | ||||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統(tǒng) | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | ||||
| 振動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | ||||
* L表示測量長度，以毫米為單位。
** Z軸的機械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關系。
