SI6000激光干涉儀介紹：

SI6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

1、可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2、可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3、可實現對機床回轉軸的測量與校準；

4、可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

5、具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

6、支持手動或自動進行環境補償。

SI6000激光干涉儀優點：

SI6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

SI6000激光干涉儀線性測量：

SI6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SI6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量速度：4m/s

SI6000激光干涉儀角度測量：

角度反射鏡旋轉時產生轉角，或是移動過程中產生角擺，兩束反射光會有相對應的光程差產生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經過運算處理，即可得出對應的角度值

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

SI6000激光干涉儀直線度測量：

直線度干涉鏡在移動過程中產生橫向或縱向位移時，兩束反射光會有相對應的光程差產生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經過運算處理，即可得出對應的直線度值。

直線度測量

注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀平面度測量：

平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

SI6000激光干涉儀垂直度測量：

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整；光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測量

注：R為垂直度結果；M為測量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀技術參數：

主機

穩頻精度：0.05ppm

動態采集頻率：50 kHz

預熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環境濕度：(0~95)%RH

環境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH(0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa(65~115)kPa

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.1″

轉速：10rpm

跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發盒

信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號

輸出形式：10μs脈沖

觸發延時：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標準配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

SI6000激光干涉儀配置清單：