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HMDS預處理真空烘箱

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京中科博達儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號BD/HMDS-62
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2021/11/4 19:45:18
  • 訪問次數(shù)249
產(chǎn)品標簽:

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    北京中科博達儀器科技有限公司是一家專注于環(huán)境試驗設備的研發(fā)、銷售和服務為一體的科技企業(yè)。公司位于交通便利、工業(yè)繁華的北京市大興經(jīng)濟開發(fā)區(qū)。自成立以來認真精細地完善每一步檢驗程序,嚴格要求產(chǎn)品的每一步工藝流程,追求完美品質(zhì)。依托企業(yè)自身的人才、技術、資金為科研、航天、電子、汽車、石油、化工、醫(yī)療、通訊、各大院校等企事業(yè)單位,提供符合GB、GJB、IEC、MIL、DIN等標準的各類試驗設備及檢測儀器,并可根據(jù)用戶的需求設計制造各類非標專業(yè)性設備。

    公司一貫堅持“以質(zhì)量求信譽,以信譽求發(fā)展”,用嚴格的管理手段及過硬的質(zhì)量為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,關心客戶的切身利益,服務周到完善,為客戶的發(fā)展提供可靠的支持。公司秉承“創(chuàng)新理念,追求zhuo越”的經(jīng)營理念,一如既往地為廣大新老客戶提供專業(yè)可靠的產(chǎn)品與服務,樹立“中科博達”品牌形象。為方便廣大客戶能夠及時提供全方面的的售前咨詢、售后服務,公司在全國各大重點城市均設有辦事處,真誠為您服務!
 
產(chǎn)品系列: 高溫試驗箱、低溫試驗箱、恒溫恒濕試驗箱、低溫恒溫試驗箱、高低溫試驗箱、交變高低溫試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、交變高低溫濕熱試驗箱、鹽霧腐蝕試驗箱、二氧化硫試驗箱、鼓風干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗箱、紫外光老化試驗箱、氙弧燈耐氣候試驗箱、臭氧老化試驗箱、換氣老化試驗箱、沙塵試驗箱、淋雨試驗箱、擺管淋雨試驗設備、滴水試驗設備、振動臺、振動試驗機、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、熱空氣消毒箱、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗箱、防銹油脂試驗箱、大型鹽霧試驗室、大型低溫恒溫試驗室、大型高低溫檢測試驗室。

高溫試驗箱、低溫試驗箱、恒溫恒濕試驗箱、低溫恒溫試驗箱、高低溫試驗箱、高低溫交變試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、高低溫交變濕熱試驗箱、鹽霧腐蝕試驗箱、二氧化硫試驗箱、鼓風干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗箱、紫外光老化試驗箱、氙弧燈耐氣候試驗箱、臭氧老化試驗箱、換氣老化試驗箱、沙塵試驗箱、淋雨試驗箱、擺管淋雨試驗設備、滴水試驗設備、振動臺、振動試驗機、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、熱空氣消毒箱、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗箱、防銹油脂試驗箱、大型鹽霧試驗室、大型低溫恒溫試驗室、大型高低溫檢測試驗室
HMDS預處理真空烘箱產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導體行業(yè),HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性
HMDS預處理真空烘箱 產(chǎn)品信息

 HMDS預處理真空烘箱  

產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導體行業(yè),HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。    

一、產(chǎn)品規(guī)格:

 型號:BD/HMDS-6090   內(nèi)形尺寸:450×450×450    

 型號:BD/HMDS-6210   內(nèi)形尺寸:560×640×600  

 

二、 技術參數(shù):

 1、控溫范圍:RT+10~250℃ 

 2、溫度分辨率:0.1℃

 3、溫度波動度:±1℃

 4、達到真空度:小于133Pa

 5、真空度:100Pa~100000Pa

 6、定時范圍:1~9999min

 7、工作室材料:316L

 8、樣品架:2塊、3塊

 9、真空泵:4L/S

 10、電源電壓:220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

 11、總功率:3000W、4500W

 

三、產(chǎn)品特點:

 1、外殼采用冷軋鋼板制造,表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

 2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。

 3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

 

四、 HMDS預處理系統(tǒng)操作流程:

 1、首先確定烘箱工作溫度;

 2、預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分;

 3、再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應;

 4、當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。

 

五、控制系統(tǒng):

 1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,三菱PLC控制器;

 2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器,控溫精que可靠;

 

六、保護系統(tǒng):

 1、漏電保護;

 2、超溫保護;

 3、缺液保護;

              

七、設備使用條件:

 1、環(huán)境溫度:5℃~+28℃(24小時內(nèi)平均溫度≤28℃)

 2、環(huán)境濕度:≤85%R.H

 3、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風良好,機器放置前后左右各80公分不可放置東西;

 

八、 HMDS預處理真空烘箱 服務承諾:

 保修十八個月,免費送貨上門,在對該設備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對相關技術人員免費做相應的操作培訓,人數(shù)不限

 

北京中科博達儀器有限公司產(chǎn)品系列: 高溫試驗箱、低溫試驗箱、恒溫恒濕試驗箱、低溫恒溫試驗箱、高低溫試驗箱、交變高低溫試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、交變高低溫濕熱試驗箱、鹽霧腐蝕試驗箱、二氧化硫試驗箱、鼓風干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗箱、紫外光老化試驗箱、氙弧燈耐氣候試驗箱、臭氧老化試驗箱、換氣老化試驗箱、沙塵試驗箱、淋雨試驗箱、擺管淋雨試驗設備、滴水試驗設備、振動臺、振動試驗機、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、熱空氣消毒箱、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗箱、防銹油脂試驗箱、大型鹽霧試驗室、大型低溫恒溫試驗室、大型高低溫檢測試驗室。  

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