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1200度小型PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱天津中環電爐股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2021/11/2 15:52:06
  • 訪問次數540
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天津中環電爐股份有限公司立于1993年,2015年公司進行股份制改造,更名為天津中環電爐股份有限公司。公司集研發、制造、營銷能力于一身,為眾多科研院所、大學提供實驗室電爐系統及服務并深受用戶肯定;以北大、清華、中科院各院所等為代表的客戶群體已經超過一千家,并為客戶完成科研項目做出了自己的貢獻。截至到目前,公司已經成功研發出深受用戶肯定的21個系列260多個品種的產品,同時公司的研發團隊已具備為客戶量身打造特殊需求的實驗室電爐系統的能力。二十多年以來,公司的品牌在客戶的口碑中得以不斷的成長,同時在政府的扶植下取得了可喜的榮譽。
2004年,公司采用ERP軟件管理,使得公司的管理效率實現了信息現代化。
2008年,公司自主研發“開啟式真空/氣氛管式電爐”獲得國家科委頒發的科技成果鑒定證書。
2010年,該產品獲得天津市科委科技創新資金支持。
2011年,獲得國家創新基金支持。
2014年,公司引進自動化鈑金生產線,進一步實現產品產能和質量的突破。
2015年,公司重新組建為股份制公司,為2016年新三板掛牌做好了充分準備。
未來,公司將不斷拼搏進取、實現新的跨越,全體員工將以“熱情、勤勉、高尚“的核心價值觀,創造企業更大的輝煌。
 
可視化高溫形變分析儀/高溫接觸角測量儀/高溫箱式電爐/管式電爐/高溫電阻爐/實驗電爐/真空氣氛電爐
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統PECVD-12IH-4Z/G
1200度小型PECVD系統 產品信息

   

產品用途

PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品組成

PECVD系統配置;

1.1200度開啟式滑動單溫區真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質量流量控制系統

4.真空系統(單獨購買)

產品特點

電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

系統名稱

集成型PECVD系統

1200℃小型PECVD系統

系統型號

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系統

手動

溫度

1200

加熱區長度

200mm

恒溫區長度

100mm

溫區

單溫區

石英管管徑

Φ60mm

Φ50mm

額定功率

1.2Kw

2Kw

額定電壓

220V

滑動方式及距離

自動滑動;200mm

手動滑動;200mm

溫度控制

30段程序控溫

50段程序控溫

控制精度

±1

爐管工作溫度

1200

氣路法蘭

采用多環密封技術卡箍快速連接

排風冷卻裝置

*的空氣隔熱技術,結合熱感應技術,當爐體表面溫升到50℃時,

排溫風扇將自動啟動,使爐體表面快速降溫。

氣體控制方式

質量流量計(按鍵式)

氣路數量

2路(2-4路)

4路(可根據具體需要選配氣路數量)

流量范圍

0-500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標定

精度

±1%F.S

響應時間

1sec

工作溫度(流量計)

20-120

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

進氣方式

采用防倒流設計

規格

中真空(集成型請單獨購買)

系統真空范圍

10Pa-100Pa

真空泵

雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/S(選配:其他抽速真空泵),出氣口配有油污過濾器,額定電壓220V,功率0.55Kw

信號頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0W-500W

0W-100W

反射功率

350W

30W

射頻輸出接口

50Ω,N-type,temale

功率穩定度

±0.1%

諧波分量

-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

整機功率

70%

屏幕顯示

正方向功率,匹配器電容位置,偏置電壓值

爐體外形尺寸

290×350×340mm

290×350×495mm

系統外形尺寸

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

系統總重量

270Kg

 

15700106413
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