等離子光氧一體機凈化設備是一種專門去除有毒有害氣體及惡臭氣體的一種裝置。

當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。

在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。眾suo周知臭氧對有機物具有*的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有*的清除效果。

等離子光氧一體機采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應。