工業VOCs有機廢氣進入光氧催化設備內部被損壞、分化、催化氧化成無害無味氣體。選用高能C波段紫外線光線照射工業VOCs有機廢氣，使工業VOCs有機廢氣發作裂解和分化，改動物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和等。紫外線照射下發生的臭氧是一種強氧化劑能進一步將未*反響的廢氣進一步進行氧化，同時紫外線光具有滅菌和消毒的效果。
光氧催化設備*分化的工業VOCs有機廢氣再進入活性炭吸附箱內部，眾suo周知活性炭具有很強的吸附才能，能將有機廢氣牢牢的吸附在活性炭外表。因為活性炭外表存在著未平衡和未飽滿的分子引力或化學鍵力，因而活性炭與氣體接觸時，能吸引氣體分子，使其濃聚并保持在固體外表，廢氣中的污染物被吸附在固體外表上，使其與氣體混合物別離，到達凈化目的。
