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濕法去膠設(shè)備-石灰石-石膏濕法

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2021/10/12 9:26:13
  • 訪問(wèn)次數(shù)3889
產(chǎn)品標(biāo)簽:

濕法去膠設(shè)備

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盛美成立于2005年,是一家注冊(cè)在上海浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)、具備領(lǐng)先技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商。公司集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售于一體,主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備等。公司堅(jiān)持差異化競(jìng)爭(zhēng)和創(chuàng)新的發(fā)展戰(zhàn)略,通過(guò)自主研發(fā)的單片兆聲波清洗技術(shù)、單片槽式組合清洗技術(shù)、電鍍技術(shù)、無(wú)應(yīng)力拋光技術(shù)和立式爐管技術(shù)等,向全球晶圓制造、先進(jìn)封裝及其他客戶提供定制化的設(shè)備及工藝解決方案,有效提升客戶的生產(chǎn)效率、提升產(chǎn)品良率并降低生產(chǎn)成本。
 
盛美具有高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì),承擔(dān)十一五國(guó)家科技重大專項(xiàng)課題“65-45nm銅互連無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目”的研發(fā)和十二五國(guó)家科技重大專項(xiàng)課題“20-14nm銅互連鍍銅設(shè)備研發(fā)與應(yīng)用”和“45-22納米單片晶圓清洗裝備研發(fā)與應(yīng)用”的研發(fā)。公司立足自主創(chuàng)新,通過(guò)多年的技術(shù)研發(fā)和工藝積累,成功研發(fā)出首個(gè)的 SAPS/TEBO 兆聲波清洗技術(shù)和 Tahoe 單片槽式組合清洗技術(shù),可應(yīng)用于 28nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的晶圓清洗領(lǐng)域,可有效解決刻蝕后有機(jī)沾污和顆粒的清洗難題,并大幅減少濃硫酸等化學(xué)試劑的使用量,在幫助客戶降低生產(chǎn)成本的同時(shí),滿足節(jié)能減排的要求。
 
盛美憑借先進(jìn)的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品線,已發(fā)展成為中國(guó)大陸少數(shù)具有一定國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體專用設(shè)備提供商,產(chǎn)品得到眾多國(guó)內(nèi)外主流半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可,并取得良好的市場(chǎng)口碑。
清洗設(shè)備
盛美的半導(dǎo)體濕法去膠設(shè)備專為高效便捷的光刻膠(PR)剝離清洗應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
濕法去膠設(shè)備-石灰石-石膏濕法 產(chǎn)品信息

濕法去膠設(shè)備

槽式去膠單元-在槽式單元中使用藥液浸泡晶圓,該槽體一次可容納多片晶圓以提高產(chǎn)能。
單片去膠腔體-將藥液噴灑在旋轉(zhuǎn)晶圓表面,更好地獨(dú)立控制每片晶圓工藝。

主要優(yōu)勢(shì)

使用便捷

精確的藥液控制

槽式單元預(yù)浸泡工藝

藥液回收使用可減少成本

優(yōu)化安全配置

結(jié)合先進(jìn)的晶圓清洗工藝


特性和規(guī)格

兼容8寸和12寸晶圓

配有浸泡槽體

配有單片去膠腔體,包括:
a.最多可配至5種藥液進(jìn)行雙面清洗工藝
b.最多可回收2種藥液
c.單片腔體可搭載空間交變相位移兆聲波(SAPS)組件
d.可選配有高壓solvent/DIW噴洗

 
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