熱式氣體質量流量計生產廠家_德國kewill
原理&結構
FGM222系列質量流量控制器（Mass Flow Controller） 是基于流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所 開發的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電 流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。在輸出方面，帶有工業級液晶觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時 流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA 和 1-5V 模擬信號，以及 RS485 等數字 通信方式。
特點
溫度和壓力不敏感
*的零點穩定性
超快的響應速度
良好的重復性和再現性
多種信號輸出方式
采用液晶觸控顯示和控制
配備高duan比例電磁閥
應用
半導體加工
燃燒控制室
分析和環保
真空技術
表面處理
食品和制藥
化工（石化）等過程控制
熱式氣體質量流量計生產廠家_德國kewill
技術參數
核心參數說明 | |
介質要求： | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類： | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳 |
氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 | |
量程： | 0...50/100/500/1000SCCM(每分鐘標準毫升) |
0...5/100 SLM(每分鐘標準升) | |
精度 ： | 0.5% F.S. |
1.0% F.S. | |
分辨率： | *低 0.01SCCM(每分鐘標準毫升) |
響應時間： | ≤1S |
環境條件 | |
介質溫度： | 0...50℃ |
工作溫度： | -20...70℃ |
工作濕度： | 10%...90%RH（無結冰，無凝露） |
工作壓力： | 0...10bar |
儲存溫度： | -20...85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓： | DC24V，紋波 ≤50mV |
功耗： | ≤3.2W（有屏幕） |
≤2.4W（無屏幕） | |
啟動時間： | ≤1S |
預熱時間： | ≤10mS |
通信接口 | |
模擬信號（電流、電壓） | |
接口類型： | D-SUB 9 針 |
電流信號： | 4...20mA (線性對應量程) |
電壓信號： | 1...5V (線性對應量程) |
數字信號（RS485） | |
接口類型： | RJ45和D-SUB 9 針 |
通信速率： | 4800 |
1280 | |
協議： | RS485（默認 Modbus-RTU協議） |
設備地址： | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
最大節點數： | 250 |
機械參數 | |
過程連接類型： | 卡套：8mm、12mm |
快插：6mm，8mm | |
協議定制 | |
主體材質： | 接液底座：AlZnMgCu1.5/3.4365鋁合金（7075航空鋁） |
不銹鋼1.4301(不銹鋼304) | |
不銹鋼1.4435(不銹鋼316L) | |
外殼：碳鋼 | |
密封材質： | FKM 氟橡膠 |
重量： | 鋁：≈0.75kg |
不銹鋼：≈1.5kg |
尺寸圖
選型表
