滲氦型標準漏孔原理是基于菲克定律制作。漏孔是計量器具，漏率量值溯源到國家漏率標準，均具有經(jīng)國家實驗室認證的計量技術(shù)機構(gòu)的校準證書。

   一.漏率范圍：E-7~E-10（Pa.m³/s）23℃

   二.漏孔種類：

      1.參考標準漏孔E-8;E-10（Pa.m³/s）23℃

     （1）系數(shù)可根據(jù)用戶需要確定

     （2）年泄漏率可控制在<2%,其不確定度≤±0.2%，以保證漏率的長期可靠。

     （3）有精確的溫度修正:Q_T=Q_cal296K*(T/296K)_*e^{-2535.5(1/T-1/296)}

     （4） 用于：a.量值傳遞作為標準；b.真空漏率標準之間的互校的參考體；c.監(jiān)視真空漏率標準是否處在狀態(tài)

     2.微漏率漏孔：

         <5E-9—E-11（Pa.m³/s）23℃  

     3.大漏率漏孔：

        ≈1.5E-7（Pa.m³/s）23℃

     4.高清潔度型漏孔：

       不產(chǎn)生雜峰（因橡膠密封產(chǎn)生的雜質(zhì)譜峰），接口為刀口法蘭。

     5.某些數(shù)量級，任意系數(shù)漏孔（E-9，E-10,E-11）。

     6.常規(guī)漏孔:1.5E-8（Pa.m³/s）23℃;5E-9（Pa.m³/s）23℃

  三．說明：

   1.常溫下使用不可加熱及制冷降溫法改變漏率以防結(jié)構(gòu)損壞。

   2.為保證漏率長期穩(wěn)定性，漏孔內(nèi)采用玻璃結(jié)構(gòu)，防震損。

   3.真空密封面不可劃傷，以防漏率失準。

   4.漏孔使用中的溫度修正誤差允許<10%時按照3%/℃進行線性修正

   5.接口：漏孔可接入任意形式接口的真空系統(tǒng)。

標準漏孔檢定規(guī)程下載

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