①SU3900掃描電子顯微鏡標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察
■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品
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通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
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選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
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具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
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紅外CCD探測(cè)器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
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與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
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覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
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支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自動(dòng)化功能
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自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
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提高了自動(dòng)聚焦精度
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搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
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搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
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高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器，切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測(cè)量軟件Image pro
