分析潛力
- GM樣品室配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
- 多于20個(gè)接口,優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作,幾分鐘即可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
- 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品(XMU型號(hào))
- 可選樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測(cè)量功能
GM型號(hào)適合觀測(cè)大樣品。
VEGA3 GMH
超大樣品室,高真空模式,適用于觀測(cè)大型導(dǎo)電材料。
VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品,不需要噴金。
標(biāo)配:
圖象處理
3維掃描
硬度測(cè)量
多圖像校準(zhǔn)
對(duì)象區(qū)域
自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間
公差
編程軟件
定位
投影面積
EasySEMTM
根據(jù)實(shí)際配置和需求
配件:
二次電子探頭(SE),ET型二次電子探頭(YAG 閃爍體)
可移動(dòng)式背散射電子探頭(RBSE)*,可移動(dòng)環(huán)行閃爍體類(YAG)具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率(0.1Z)
低真空二次電子探頭
探針電流測(cè)量
壓差式防碰撞報(bào)警裝置
可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭
冷臺(tái)
等,各種配件可供選擇