干泵氦質譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。

　　產品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜，光伏等行業。

　　功能描述

　　支持正壓檢漏，負壓檢漏

　　自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果

　　優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

　　高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦

　　支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底

　　機器的性能支持7*24小時長時間在線測試

　　機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試

　　配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷

　　雙銥絲離子源，有效的系統設計，防大氣沖擊

　　支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用

　　技術參數

　　最小可檢漏率（負壓模式） 5×10-13Pa·m3/s

　　最小可檢漏率（正壓模式） 1×10-8Pa·m3/s

　　檢漏口壓強 粗檢 1500Pa

　　中檢 200Pa

　　精檢 40Pa

　　響應時間 ＜1s

　　啟動時間 ≤3min

　　前級渦旋干泵抽速 10m3/h

　　外形尺寸（W×D×H） 845×465×988

　　重量 80Kg