ZFH-3復合中真空測量儀是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復合真空測量儀，配用ZJ-54D熱偶規管及ZJ-10中真空電離規管，能測量267～1X10-4Pa之間的真空度。
由于在儀器中引入了單片微機，ZFH-3復合中真空測量儀具有許多**性能：
采用單片微機進行數據處理，真空度讀數數字顯示，測量結果直觀、明確、讀數方便。
電離規管的除氣可以自動或手動進行。
量程自動切換。當真空度下降，**出電離規管測量范圍時，儀器可以自動停止電離部分工作，顯示熱偶部分測量數據。當真空度提高時，則可自動啟動電離部分工作。
采用帶有反饋環節的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數字設定，簡單、方便、直觀、準確。
真空度單位自動轉換。
具有多種測量顯示模式，顯示方式靈活多樣。
帶有三個繼電器觸點，動作真空度可以數字設定。
當真空度高于10-2Pa時，可以自動標定熱偶規管的加熱電流。
儀器帶有RS—232或RS-485串行數據通訊接口，與上位計算機通訊方便。
由于采用單片微機作為儀器的控制單元。ZFH-3復合中真空測量儀除了上述特點外，它的另一個顯著特點是軟件可修改性強，可以在基本不動或少動儀器硬件結構的情況下，修改儀器功能，創造出功能全新的儀器。
2. .主要技術條件：
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測量范圍： 101KPa～0.1 Pa
測量誤差： 267～1 <±20%
2.1.2 加熱電流調節范圍： 30mA±2.4mA 由數字設定
調節精度： <±0.5% ±2字
2.1.3 配用規管: ZJ—54D 熱偶規管
2.2 電離部分：
2.2.1 真空度測量范圍： 10～1X10-4Pa
測量誤差： ±20%
2.2.2 電離規管發射電流： 50μA±3%(10-1～10-3 Pa)
500μA±3%(10-4Pa)
2.2.3 柵極電壓： 165V ±1%
2.2.4 自動除氣啟動真空度： 10-3Pa
2.2.5 自動除氣時間： 10分鐘
2.2.6 配用規管： ZJ-10
2.3 控制觸點：
2.3.1 控制觸點數： 3
2.3.2 控制觸點容量： 交流 220V/1A
2.4 使用環境：
2.4.1 環境溫度： +5～35度
2.4.2 相對濕度： <85%(25度)
