性能        

前級泵內置式

前級泵外置式及小車

 前級泵       油式機械泵

DS-42 2 m3/hr（34l/m）

DS-302 14 m3/hr（232l/m）

            渦旋式干泵

Dry pump combo   -2 m3/hr（34l/m）

TS-620 30 m3/h（500l/m）

可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下

5x10-12 atm   cc/sec：

5x10-12 mbar   l/s：5x10-13 Pa m3/mec helium

測試口高耐壓

13mbar，10Torr，1330Pa

測試口處對氦氣抽速

1.8l/s

校準程序

自動或手動（內置或外置）

氦本底清零

按鍵清零，并具有零點追蹤功能

操作界面

高清晰彩屏，TFT觸摸屏

語言選擇

中文、英文、法文、德文、日文、韓文、西班牙文

循環檢測

可編程粗抽時間/檢測時間，設置報廢點

響應時間

＜0.5s

設定點

標準：5個設定點；常開或常閉：3個漏率點；1個壓強點；1個聲語點

串行接口

RS-232繼電器輸出接口，9600 波特 （DB-9S）

繼電器式  l/O 輸出

繼電器輸出，5-24伏直流輸出與輸入（DB-25S）

無線遙控器（選購件）

2.4GHz ISM頻段， 100米（328英尺）范圍，4節AA電池或5伏直流電源