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廣電計量檢測集團股份有限公司

化學機械拋光機 拋光設備

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱艾泰克儀器科技(南京)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/11/3 9:26:38
  • 訪問次數3300
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RTEC儀器公司總部位于美國加州硅谷圣何塞市,在歐洲瑞士擁有獨立研發和制造分公司,在美國東岸佛吉尼亞州和中國以及印度擁有應用開發以及銷售和技術支持分公司。RTEC儀器專注于開發和制造力學以及光學測試相關領域高科技儀器,提供專業的測試解決方案,產品廣泛應用于幾乎所有業界大學,科研院所以及五公司工業研發以及質量控制。Rtec儀器在材料測試領域擁有深厚的專業優勢。 測試儀器包括摩擦磨損試驗機、三維光學形貌儀、微納米壓痕/劃痕儀、高溫硬度、微動測試機,光學膜厚測試儀,化學機械拋光測試儀等。可用于潤滑、摩擦、磨損、粘附、微納米硬度、薄膜涂層結合力/內聚力,表面粗糙度,化學機械拋光研發及薄膜厚度等納米級到宏觀級的性能測試。
高溫摩擦磨損試驗機
化學機械拋光機CP-6化學機械拋光機CP-6概述RTEC化學機械拋光機CP-6采用專業的方式研究和表征CMP工藝
化學機械拋光機 拋光設備 產品信息
化學機械拋光機CP-6


化學機械拋光機CP-6概述
RTEC化學機械拋光機CP-6采用專業的方式研究和表征CMP工藝。 除了拋光晶圓和基板外,測試儀還配有在線表面輪廓儀。這種組合提供了有關表面、摩擦、磨損等變化的原因和方式的信息。測試儀還可以測量幾個內聯參數,如摩擦力、表面粗糙度、磨損量等,以便詳細了解過程。

特點
  • 集成的共聚焦3D顯微鏡,可以用nm分辨率表征拋光墊表面
  • 內聯摩擦、聲發射研究拋光過程
  • 內聯溫度傳感器
  • 可安裝多種晶圓尺寸
  • 可控制的下壓力和速度

標準配置有X,Y平臺,可在拋光和成像位置之間移動壓板。此外,XY平臺有助于在拋光過程中振蕩晶圓。使用帶有XY驅動器的壓板允許多軸驅動組合來創建自定義運動,以模擬接近現實生產環境的測試條件。

內聯傳感器
扭矩 - 高分辨率內聯扭矩傳感器可實現端點定位,并實時表征表面;
聲學 - 聲音信號,允許定性終點或幫助檢測拋光過程中的碎片、缺陷。
溫度 - 焊盤和靠近晶圓拋光表面的區域的在線溫度監控有助于研究去除機制。

可編程負載、速度
為了優化過程,CP-6允許使用基于配方的軟件控制和改變力、速度、流速。

易于使用
摩擦測量儀配有快換載體,可輕松安裝晶圓和焊盤。該軟件帶有預定義的測試標準配方,或者可以輕松創建新的自定義配方。

集成在線3D輪廓儀


Rtec化學機械拋光機配有內聯集成的3D輪廓儀。經過優化,可以表征具有nm分辨率的拋光墊表面。探測器配有共焦模式+干涉儀模式+暗場和明場模式。 這允許以nm分辨率研究表面變化與時間的關系。該測試儀允許在大表面積上自縫合,以進行體積磨損,粗糙度計算。











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