等離子廢氣設備技術原理：

低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術是在原電暈放電基礎上由高頻高壓電場通過放電產生的新一代低溫等離子體技術具有能源高、電子發射密度高等特點，其凈化原理如下：

●在放電過程中，電子從電場中獲得能源，通過非彈性碰撞將能源轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能源的分子被激發或發生電離形成基團，當污染物分子獲得的能源大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。

●等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型，這些粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量 OH、HO、O等氧化性較強的 O，能與有害氣體分子發生化學反應，后生成無害產物。

●物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。

●生物作用表現在具有消菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。

在放電過程中，電子從電場中獲得能源，通過非彈性碰撞將能源轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能源的分子被激發或發生電離形成基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新型氫、氧和羥基氧等基團，這些基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學

反應。從等離子體的基團組成可以看出，等離子體內部富含*化學的粒子，如電子、離子和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能源的基團發生反應，終轉化為CO2和H2 O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。