濕法脫硫工藝主要的優點是反應速率快、脫硫率高，缺點會產生大量廢水廢液、易造成二次污染;干法脫硫工藝主要的優點是副產品為固態，利于綜合應用，但是反應速率慢，脫硫率較低的缺點十分明顯。
噴霧半干法是利用噴霧干燥原理，將吸收劑漿液霧化噴入吸收塔。在吸收塔內，吸收劑在與煙氣中的二氧化硫發上化學反應的同時，吸收煙氣中的熱量使吸收劑中的水分蒸發干燥，脫硫反應后的廢渣以干態排出。
◆ 優缺點
工藝流程比石灰石-石膏法簡單，投資也較小。缺點是脫硫率較低，一般為70-80%、操作彈性較小、鈣硫比高，運行成本高、副產物無法利用。國內使用較少，青島黃島電廠使用此工藝，運行存在塔壁積灰、霧化器堵塞磨損嚴重等問題。
將磨細石灰石粉用氣流輸送方法噴射到爐膛上部溫度為900~1250℃的區域，CaCO3立即分解并與煙氣中的SO2和少量的SO3反應生成CaSO4。在活化器內爐膛中未反應的CaO與噴入的水反應生成Ca(OH)2,SO2與生成Ca(OH)2快速反應生成CaSO3,有部分被氧化成CaSO4。
◆優缺點
優點是設備投資較小，但是在優化爐內噴鈣條件下，CaCO3熱解生成高活性CaO，雖然難以直接在爐內得到很高的脫硫率，但爐內未與SO2反應的CaO在鍋爐后部噴水增濕、水合為Ca(OH)2，低溫下可再次與SO2反應，能顯著提高系統脫硫率和鈣基吸著劑利用率，但脫硫率較一般在60%～70%。總的來看,爐內脫硫率和鈣基吸著劑利用率都不夠高，其技術經濟性能的競爭力不夠強。
從鍋爐出來的含有粉塵和SO2的煙氣，從脫硫塔的底部經過文丘里管上升，進入塔內。生石灰在消化器內加水消化后，在消石灰倉儲存。將一定量的消石灰粉和水在文丘里喉口上端加入，在脫硫塔內與煙氣混合流動，并與煙氣中的SO2反應，生成亞硫酸鈣和硫酸鈣。
攜帶反應產物和煤灰的煙氣冷卻到稍高于露點以上的溫度，進入后面的布袋除塵器。反應產物和煤灰被除塵器處理后，通過空氣斜槽返回塔內，再次循環參與脫硫反應。在垃圾焚燒爐煙氣凈化中，在除塵器前加入活性炭末，通過多次循環，以達到脫除重金屬、二噁英的效果，脫硫灰通過倉泵輸灰至灰倉外排。
由于消石灰、煤灰和反應產物多次在脫硫塔和除塵器之間循環，增加了反應時間，消石灰的作用得以充分發揮，用量減少，同時脫硫效率得以提高。
◆優缺點
煙氣循環流化床法脫硫效率較高，對高硫煤也能達到脫硫效率，是目前干法、半干法等類脫硫技術中單塔處理能力大、脫硫綜合效益*的一種方法；由于床料循環利用，從而提高了吸收劑的利用率;在相同的脫硫效率下，與傳統的半干法比較，吸收劑可節省;脫硫產物為干灰以固態排放;可實現大型化。
主要缺點是對鍋爐負荷變化的適應性差;脫硫和除塵相互影響，脫硫系統之后必須再加除塵設備，運行控制要求較高。
