利用 Thermo Scientific™ Theta Probe 角分辨 X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)采集角分辨能譜，無須傾斜樣品即可無損表征超薄薄膜

新型技術產品所依賴的是固體近表面區(qū)域的設計。對于這種類型的材料，包括自組裝單層、表面改性聚合物和半導體設備，確定表面幾納米的成分是關鍵。通過使用平行角分辨 XPS (PARXPS) 和能夠提供準確精密結果的 Avantage 數據系統(tǒng)的*軟件，Theta Probe X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)能夠幫助您做到這一點。

Theta Probe 角分辨 X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)特性：

· 的弧透鏡技術，提供 60° 平行角范圍內收集角分辨 XPS 能譜的能力

· X 射線單色器具有用戶可選擇的光斑尺寸(15 至 400 µm)

· 系統(tǒng)能夠處理大樣品或多個樣品

· CCD 樣品對齊顯微鏡與樣品表面垂直。

透鏡、分析儀和檢測器

· 弧透鏡利用大接收角 (60°) 收集光電子

· 大角度可以提高靈敏度，并且允許在 PARXPS 測量中收集大角度范圍

· 透鏡軸與樣品法線成 50°，因此可以收集 20 至 80° 角度范圍的電子(相對于樣品法線)

· 180° 半球型分析器在輸出端配備一個二維檢測器

· 二維檢測器提供多通道檢測，多達 112 個能量通道和 96 個角度通道

· 透鏡有兩種操作方式：傳統(tǒng)模式和角度分辨模式

X 射線源

· 配備一個微聚焦單色器

· X 射線光斑尺寸范圍 15 - 400 µm

深度剖析

· 數控式 EX05 離子槍可用于提供深度剖析，哪怕在使用低能離子源時也有著很好的性能

· 深度剖析可使用方位角樣品旋轉

樣品處理

· 全電動樣品臺，能夠實現 5 軸移動

· 樣品臺可容納大樣品——X 和 Y 軸上的移動范圍為 70 mm，Z 軸上的移動范圍為 25 mm(高度)

真空系統(tǒng)

· 5 mm 厚高導磁m金屬分析室，提高磁屏蔽效率

· 與使用內部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

Avantage 數據系統(tǒng)

· 集成了測試分析的所有方面，包括儀器控制、數據采集、數據處理和報告生成

· 允許遠程控制，并且可輕松與第三方軟件交互(例如 Microsoft Word)

· 管理從樣品載入到報告生成的整個分析過程