一、概述
MF4000系列氣體質量流量計是專為管徑為3mm~8mm的氣體管路中的低速氣流的流量計量而設計。螺紋與各種快速
接口可輕松實現機械接口轉換，滿足用戶多種氣體管路的要求，該產品可用于過程控制、大氣采樣等各種工業應用。
MF4003，管道內徑為3mm，測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
MF40008，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于氣體測量和控制設備、*、環境檢測儀、大氣采樣器和各類分析儀器。
二、MF4000系列氣體質量流量傳感器的特點：
專為管徑為3mm-8mm的氣體管路中低速氣流的流量計量而設計，進行流體數據統計記錄
各種連接方式，易于安裝與使用
輸出方式靈活 既可通過通訊接口主動上傳數據 ，
在*電子表上具有表現或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電
LED顯示瞬時流量和累計流量，允許現場用按鍵配置流量計參數
可記錄自上電以來瞬時流量的值和最小值 具有超量程功能 ，
全量程高穩定性、高精度和優良的重復性
三、MF4000系列氣體質量流量傳感器的機械尺寸

四、MF4003/08系列氣體質量流量傳感器技術參數

參數	MF4003 MF4008	單位
通徑	3 8	mm
流量	2,3,4,5, 10,20,30,40,50	SLPM
量程比	100:1
精度	±（1.5+0.2FS）	%
重復性	0.25	%
零點輸出漂移	±30	mV
輸出漂移	±0.12	%/℃
響應時間	10（默認，可設置20,50,100,200，500,1000）	ms
工作電源	8~24VDC，50mA
輸出方式	線性：RS232/RS485/模擬電壓0.5~4.5VDC
顯示方式	4位7段LED數碼管顯示，2個指示燈
指示單位	瞬時流量SLPM;累計流量SL
顯示分辨率	0.001，,001,0.1可設置 0.01,0.1可設置	SLPM
流量壓損	100 600	Pa
工作壓力	≤0.5	MPa
工作溫度	-10~+55	℃
儲存溫度	-20~+65	℃
工作濕度	＜95%RH（無結冰，無凝霜）
機械接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm,6mm,8mm快速接頭
鍵盤	三個按鍵
引出線	5針插座，南士CD R-5
校準方式	空氣（20℃，101.325KPa）
重量	55（帶BSPT1/4（R1/4）接頭） 74（帶4mm,8mm快速接頭） 71（帶6mm快速接頭）	g

備注： 1，模擬輸出為傳感器的標準輸出，用戶可以根據不同需求選擇RS232或RS485輸出；
，以上參數在為 20℃，101.325KPa下測得