SC26

產品名稱：電鏡屏蔽/主動消磁系統
產品型號：SC26
品 牌：英國SpicerConsulting
產 地：英國

產品參數

晶片傳輸機器人在300 mm的晶片中活動，會產生9 KHz的磁場，會限制電子束的性能，以及下一個半導體CD節點。SC26是一種寬帶消磁系統，可以實現從DC到9 KHz以上范圍的磁場消除。為了實現寬帶消磁，SC26采用低電感場消除電纜，安裝在電子束工具附件中。

SC26具有2個200 KHz的AC磁場傳感器（藍色），可以耦合，優化電子束性能，對于低至10 Hz的磁場具有良好效果。也可以用于DC磁場消除，只需每個通道添加一個SC24/DC+AC傳感器和一個傳感組合器。

SC26并不像SC24那樣安裝使用，不能用粗線纜構建一個房子結構，從而獲得較低的磁場。

在電子束300 mm的范圍內獲得良好的消磁效果

實時、寬帶消磁，從DC到9 KHz以上磁場

磁場躍變響應速度：10μs以內
通過穩定磁場環境確保您購置的電子束科技設備應有性能
消除和監測交流磁場
自動運行，連續實時補償磁場

完整的X, Y, Z三軸消磁系統
可消除場強高達60mG (6.0 μT) pk-pk智能用戶界面，顯示系統需為3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其參數設定及操作皆為微電腦控制

可同時顯示AC和DC磁場值，單位可選高斯或者特斯拉
當X&Y&Z軸磁場檢出<RMS250uG RMS 時OK綠色指示燈會亮
高靈敏度傳感器，可精確反饋環境磁場變化；支持雙傳感器，用于抵消TEM透射電鏡和高突變環境磁場
USB監控端口
本設備為免校正儀器,其內部的自我歸零功能會自動校正
低成本高性能系統