在線面掃和單點檢測
應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。
MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。
還有許多其他的專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。
產(chǎn)品介紹
- 各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進(jìn)行檢測。
- MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。
- 樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
- 該儀器有許多專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可。例如，電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是其的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。
特性
- 允許單片調(diào)查
- 配方的基礎(chǔ)測量
- 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性
優(yōu)勢
- 在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
- 用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。
- 小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動化接口使集成變得容易。優(yōu)勢是長時間的可靠性和測量結(jié)果的高精度。
技術(shù)參數(shù)
樣品種類 | 多晶或單晶晶元片， 晶錠，晶胞 |
樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm² |
電阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
電導(dǎo)類型 | p, n |
材質(zhì) | 硅晶圓，部分或*加工晶圓，化合物半導(dǎo)體等 |
測量屬性 | 載流子的少子壽命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg |
電源 | 24 V DC, 2 A |
