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CentroTherm OXIDTOR150高溫氧化爐

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2021/6/30 8:43:35
  • 訪問次數398
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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案?! ∧壳皝喛齐娮右雅c眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供*的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。   亞科電子目前客戶遍及國內所有科研院所、高校和研發制造企業,已成功地服等各研究所;清華大學、北京大學、復旦大學等各大高校;三安集成、華潤微電子等多個制造企業。   亞科電子歷年來秉承“專業服務,全面服務”的宗旨,為客戶提供整套技術工藝和設備方案。通過專業的技術服務,實現了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設備和專業的技術服務是我們成功的基石,亞科電子期待與更多國內外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
CentroTherm OXIDTOR150高溫氧化爐
CentroTherm OXIDTOR150高溫氧化爐 產品信息
【產品簡介】
 
centrotherm c.OXIDATOR 150是一種高溫爐,是商先創公司熱解決方案為碳化硅(SiC)的氧化專門設計的。
工藝溫度高達1500℃,可使用氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)、氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)或濕法進行氧化,從而使靈活性與業經證明的工藝質量地結合。擁有無金屬加熱與雙真空裝備,c.OXIDATOR 150目前是市場上的可用有毒氣體的氧化爐。
 
【適用工藝】
 
·氧化
 
【產品優點】
 
·2英寸、3英寸、4英寸與6英寸晶圓或任何組合的批量加工
·加熱速度達到7.5度/分鐘
·批量多達50片(150毫米)晶圓
·加工壓力范圍從850毫巴到大氣壓
 
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