【產品簡介】
ContourGT-K 三維光學輪廓儀具有完善的表面測量和分析功能,擁有工業的測量性能和靈活性。采用白光干涉技術,超大視野內埃級至毫米級的垂直計量量程,具有業界的垂直分辨率和測量重復性。其直觀的用戶界面方便用戶快速高效的獲得材料表面粗糙度、二維 / 三維表面輪廓以及多種高精度數據,廣泛應用于 IC 半導體、LED、太陽能電池、薄膜材料、MEMS、精密機械零部件、摩擦磨損等各個領域,滿足各種表面測量的實際需求。
【主要應用】
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量;
2、 廣泛應用于半導體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結構、MEMS 器件關鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領域的測量。
【主要參數】
垂直量程 | 0.1nm 至 10mm(閉環無拼接) |
垂直分辨率 | 0.1nm |
電動樣品臺移動范圍 | ±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動 |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數決定 ) |
光學橫向分辨率 | 350nm |
臺階測試精度 | 0.75% |
臺階重復性 | <0.1% 1σ |
傾斜調整 | 手動樣品臺調節 ± 6° |
垂直掃描速度 | 47um / 秒,用戶可自行設定 |
轉塔調節 | 手動自動可選 |
分析軟件功能 | 可進行兩維和三維分析,多區域自動分析(可對目標區域進行統計編號,可自動分析目標區域內高度或深度分布情況),可分析表面粗糙度,可分析樣品表面缺陷及臺階高度, 并可對多次測量數據進行統計,得到詳細的統計報告(含平均值,方差,最小值,值等)??蛇M行編程自動多點測量??商峁┑臄祿ǜ弑普娑鹊娜S圖像,二維剖面圖, 以及大量完整的表面粗糙度參數。 |