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廣電計量檢測集團股份有限公司

Bruker ContourGT-K 白光干涉儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2021/6/30 8:24:07
  • 訪問次數320
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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案?! ∧壳皝喛齐娮右雅c眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供*的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。   亞科電子目前客戶遍及國內所有科研院所、高校和研發制造企業,已成功地服等各研究所;清華大學、北京大學、復旦大學等各大高校;三安集成、華潤微電子等多個制造企業。   亞科電子歷年來秉承“專業服務,全面服務”的宗旨,為客戶提供整套技術工藝和設備方案。通過專業的技術服務,實現了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設備和專業的技術服務是我們成功的基石,亞科電子期待與更多國內外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
Bruker ContourGT-K 白光干涉儀
Bruker ContourGT-K 白光干涉儀 產品信息
【產品簡介】
 
ContourGT-K 三維光學輪廓儀具有完善的表面測量和分析功能,擁有工業的測量性能和靈活性。采用白光干涉技術,超大視野內埃級至毫米級的垂直計量量程,具有業界的垂直分辨率和測量重復性。其直觀的用戶界面方便用戶快速高效的獲得材料表面粗糙度、二維 / 三維表面輪廓以及多種高精度數據,廣泛應用于 IC 半導體、LED、太陽能電池、薄膜材料、MEMS、精密機械零部件、摩擦磨損等各個領域,滿足各種表面測量的實際需求。
 
【主要應用】
 
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量;
2、 廣泛應用于半導體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結構、MEMS 器件關鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領域的測量。
 
【主要參數】
 

垂直量程

0.1nm 至 10mm(閉環無拼接)

垂直分辨率

0.1nm

電動樣品臺移動范圍

±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動

橫向取樣間隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數決定 )

光學橫向分辨率

350nm

臺階測試精度

0.75%

臺階重復性

<0.1% 1σ

傾斜調整

手動樣品臺調節 ± 6°

垂直掃描速度

47um / 秒,用戶可自行設定

轉塔調節

手動自動可選

 

分析軟件功能

可進行兩維和三維分析,多區域自動分析可對目標區域進行統計編號,可自動分析目標區域內高度或深度分布情況),可分析表面粗糙度,可分析樣品表面缺陷及臺階高度, 并可對多次測量數據進行統計,得到詳細的統計報告含平均值,方差,最小值,值等??蛇M行編程自動多點測量??商峁┑臄祿ǜ弑普娑鹊娜S圖像,二維剖面圖, 以及大量完整的表面粗糙度參數。

 

 
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