產品簡介：
EVG 620NT是一款通用性和可靠性*的光刻機，提供*的掩膜對準技術。可選擇半自動或全自動配置，滿足大批量生產和Fab標準。
主要特點及參數：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理，可快速轉換多尺寸晶圓
·全自動頂部及底部對準：
頂部對準精度≤±0.5μm
底部對準精度≤±1μm
紅外對準精度≤±2μm（取決于襯底材料）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·支持半自動原位升級為全自動
·可選配功能：
鍵合對準
紅外對準
納米壓印光刻（NIL）
亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）成立于1998年，公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務；目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊，專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝（TSV、Fan-out等）、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備，還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。 目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系（如：BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等），為向客戶提供*的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。 亞科電子目前客戶遍及國內所有科研院所、高校和研發制造企業，已成功地服等各研究所；清華大學、北京大學、復旦大學等各大高校；三安集成、華潤微電子等多個制造企業。 亞科電子歷年來秉承“專業服務，全面服務”的宗旨，為客戶提供整套技術工藝和設備方案。通過專業的技術服務，實現了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設備和專業的技術服務是我們成功的基石，亞科電子期待與更多國內外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
EVG 620NT光刻機 產品信息
