PANALYZER
多元素同步 mapping 太陽能電池薄膜 LIBS 在線檢測系統
LIBS 技術進入太陽能工業
PAnalyzer是利用激光誘導擊穿光譜（LIBS）技術在大尺寸面板上，對樣品進行多元素定性，定量分析量測的工業檢測系統。PAnalyzer由于其許多優秀的特點：非接觸測量系統、易操作性，從而可以被廣泛應用于太陽能電池板，玻璃面板，冶金、陶瓷工業類似面板……的生產、制造過程中離線/在線工藝及質量控制和研發分析。
PAnalyzer配備安裝在超大行程XY平臺上的可移動測量頭，在很短的測量時間內，可以提供待測元件的橫向元素均勻性（元素濃度和元素組成）的空間分辨分析。由于單個組件的模塊化設計，該系統可良好地適于特定用戶的特殊測量需求。下列模塊可作為標準組件：
? Nd：YAG激光器，二極管泵浦 ? 帶有CCD或者ICCD的高分辨率中階梯光譜儀 ? 遠程探測光學組件 (信號收集望遠鏡， 激光擴束，聚焦光學元件) ?光纖耦合 | ?可定制樣品架 ?大行程電動位移控制 ?視頻監控 ?Interlock安全電路 ?激光1級安全防護外罩 |
Panlayzer的測量能力可以通過添加一個拉曼系統進行提高。系統提供LIBS&RAMAN增強型配置；這樣，除了樣本元素分析外，樣品的分子組成可以被同時測定。
激光誘導擊穿光譜（LIBS）是一種原子發射光譜，利用激光燒蝕，對隨后產生的等離子體發射譜線進行元素分析。激光燒蝕可以提供從任何種類的材料（固體，液體，氣體）直接取樣，是免樣品制備的分析方法。
硬件操控及光譜評價軟件Sophi提供基于PC的控制面板來訪問所有設備功能。所測量的LIBS光譜譜線將通過一個內部集成的大型數據庫進行分析，并且定性分析出相對應的元素。對于未知成分樣本的多元素定量分析，需要參考樣本提供一個外標標定；Sophi可以實現基于腳本語言的程序自動控制，實現重復測量及進行程序自動化的光譜評價，為用戶提供的靈活性。
主要特點（Features）
· 離線/在線測量
· 大尺寸樣本元素成分mapping
· 軟件全自動控制
· 啟動快速
· 操作簡易
PAnalyzer 光伏工業
· 對樣本中低含量元素（如鐵、銅、鋅、鈉……若干ppm量級），進行多元素同步定量分析，實現實時監控
· 非接觸測量
· 軟件全自動控制
· 無需制備樣品
· 測量時間小于1秒/點（根據客戶要求，可提供更高速度）
規格參數（Specifications）
測量方法 | 激光誘導擊穿光譜 (LIBS) | 定性和定量多元素分析 |
非接觸測量 | ||
無需樣品制備 | ||
無損分析 | ||
每個測量點的典型的測量時間 1 | < 1 s | |
檢測限(LOD) 2 | < 10 ppm | |
特征 | （大尺寸）樣本mapping | |
離線/在線檢測 | ||
XY平臺 3 | 軸 | 電動線性驅動軸 |
定位精度 | ±1 mm | |
重復性 | 100 µm | |
步進精度 | ≤ 100 µm | |
速度 | 60 mm / s | |
光譜儀 | 類型 | 中階梯光柵光譜儀（ARYELLE系列） |
激光 3 | 類型 | Nd:YAG |
波長 | 1,064 nm (optional 532 nm, 355 nm, 266 nm) | |
脈沖能量 | up to 25 mJ | |
頻率 | up to 100 Hz | |
泵浦二極管壽命 | > 1 billion shots | |
安全性 | 設備外殼 | 激光安全罩，激光等級1 |
interlock安全回路 | door, light curtain, service door | |
信號燈 | 提供 | |
樣品 | 寬度x 深度 x高度 4 | 1,200 mm x 1,600 mm x 4 mm |
重量 | max. 10 kg | |
控制和分析 | 硬件 | 基于電腦的控制面板 |
軟件 | 操作和評測軟件sophi | |
工作參數設定 | ||
實時監控 | ||
用于實現測量和分析自動化的腳本編輯器 | ||
定性和定量光譜分析 | ||
外形尺寸 工作條件 | 寬度x 深度 x高度 4 | (2,200 x 1,350 x 2,340) mm |
重量 | 700 kg | |
典型功耗 | 2 kW | |
工作溫度 | + 10 °C … + 35 °C | |
相對濕度 | max. 80 % | |
1 依賴于硬件配置及具體測量應用 2 取決于樣本中的待測元素及樣本的元素組成 3 可提供其它規格可提供 4 可根據客戶要求定制 | *技術規格將可能更改 | |
應用領域（Application）
· 操作過程監控
· 質量控制
· 工業應用
