稀釋氣流量范圍：（0~5）SLPM、（0~10）SLPM、（0~20）SLPM可選

校正氣流量范圍：（0~50）sccm、（0~100）sccm、（0~200）sccm可選 

流量控制精確度：±1%F.S.

流量線性：±（0.5~1）%F.S.

流量控制重復性：±0.2%F.S.

臭氧發生器輸出：0.1μmol/mol ~6 μmol/mol（ppm）

響應時間：<60s（T₉₈）

標氣輸入口：1個

稀釋氣輸入口：1個

工作溫度：5℃～40℃

工作濕度：0~95%RH

尺寸：178mm×432mm×620mm

重量：＜15kg（基本單元）

電源：100VAC~240VAC，45Hz~60Hz

模擬輸出：10V、5V、1V、0.1V（可選）

通訊方式：RS232，RS485和以太網（選配）