合肥科晶GSL-1800X-ZF4高真空蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品概述：
GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。
主要特點：
- 真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。
- 采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。
- 真空腔體設有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板 閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，4個備用，便于安裝其他設備）。
- 在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。
- 4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。
· 樣品臺安裝在腔體的頂部。
· 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10Å。
- 可使用循環(huán)水冷機。
合肥科晶GSL-1800X-ZF4高真空蒸發(fā)鍍膜儀
技術(shù)參數(shù)：
- 輸入：單相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW
- 輸出：0-8V AC 可調(diào)，大電流400A，大功率8000W（包括真空泵）
- 真空腔：Φ300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理
- 腔門：Φ200mm
- 觀察窗：Φ95mm，采用密封圈密封
- 真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s（標配GZK-103G分子泵）
- 真空度：5.0×10-6torr（泵開啟40min后）
· 極限真空度：5.0×10-7torr （加熱溫度為100℃-150℃）
· 漏率：5.0×10-7Pa/s
· 樣品臺：Φ140mm
· 蒸發(fā)舟與樣品臺間距：260mm
- 冷卻水需量：15L/min
產(chǎn)品尺寸：
- 尺寸：650mm×1200mm×1600mm；
- 重量：600kg
