臭氧發生器主要由兩個部分組成：一部分是一個包含有放電體的容器，通常被稱為臭氧放電室；另一部分是一套為臭氧放電室提供高壓電源的電源系統，通常被稱為臭氧電源或供電單元（PSU）。臭氧以其強氧化性，且在與氧氣的轉化過程中沒有二次污染物產生，這是臭氧用于環保、食品加工、醫療等領域大的*性。隨著近年來臭氧應用技術的不斷發展，其應用領域越來越廣泛，在自來水處理、啤酒飲料用水、食品加工用水處理、化工廢水處理、染料廢水處理、回用水處理、精細化工、香料合成、空氣除臭、醫療等領域已具有成熟的應用經驗。

使用臭氧發生器產生的臭氧，在相對密閉的環境下，擴散均勻，克服了紫外線消毒存在諸多死角的固有缺點，消毒滅菌。衛生組織對消毒滅菌劑的功效進行了歸納比較，對大腸桿菌殺滅效果較好的是臭氧，次之為次氯酸(二氧化氯 、銀離子、次氣酸根、高鐵酸鹽、氣胺，作用依次減弱。臭氧滅菌速度較次氯酸快600 ~ 3 000倍，能殺滅次氯酸所不能殺滅的和包囊（如隱孢子蟲）。臭氧消毒具有性強、不產生殘余分子污染的優點,是實驗室消毒選擇

為了實現完整的工業應用，還需要臭氧加藥裝置、臭氧尾氣破壞裝置、氣源裝置等相關輔助設備。

 臭氧發生器冷卻水濃度調節