技術特點：
快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。不需減速或關閉渦輪分子泵
低等離子偏壓設計減少離子濺射和顆粒生成。結合多級氣體過濾技術，SEMI-KLEEN能夠滿足用戶苛刻的顆粒污染清除要求
可選藍寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應用
*的等離子強度傳感器可實時監測等離子狀態，用戶對等離子狀態一目了然
基于壓力傳感回饋控制的自動電子流量控制器，無需手動調節針閥
直觀的觸摸屏操作，可定義60條清洗程序方案
擁有智能安全操作模式和專家控制模式；SmartScheduleTM定時裝置，通過檢測樣品裝載次數或時間間隔來定時清潔系統
技術指標
1. 等離子源真空接口：NW/KF40 法蘭; 提供轉接法蘭；
2. 標配等離子強度傳感器；
3. 等離子源低點火起輝氣壓：<0.1毫托；
4. 等離子源Z高工作氣壓：>1.0 托；
5. 漏氣率：<0.005sccm；
6. 射頻輸出：0~100瓦，連續可調節；
7. 具有射頻自動匹配功能
8. 電源和功率：220V, 50Hz,
| 產品相關關鍵字： 等離子清洗儀 SEMI-KLEEN 掃描電鏡等離子清洗 透射電鏡等離子清洗 等離子清洗機 |
