現有大型臭氧發生器消毒機常用的尾氣消毒設備都是由高壓放電產生：氧氣發生器一般采用制氧劑，利用物理吸附原理，在室溫下，以空氣為原料，從空氣中分離出氮氧，直接得到高純度氧氣。該機操作簡單，只需開啟電源，調整氧氣流量，即可迅速連續輸出氧氣。
大型臭氧發生器消毒機利用電原理產生高壓，當高壓達到一定程度，空氣就會被破壞，空氣中的分子就會離子化。離子化時，氧分子與三個氧原子結合，形成臭氧層。所以一般也把臭氧發生器稱為負氧離子發生器。在過去100年中，FPT等技術的發展，不僅極大地提高了臭氧的生產效率，降低了臭氧設備的成本，而且提高了臭氧工程的使用壽命和可靠性。把的臭氧技術與傳統的現代氣法、氧氣濃縮技術相結合，實現臭氧工程及新一代產品的產業化。
大型臭氧發生器水廠末端消毒設備中的臭氧很不穩定，非常容易發生氧化反應，損失一個氧原子，同時也會產生一個Krike反應，Krike反應使用了三個氧原子。多數無機反應中，只有一種臭氧層分子進入氧化過程，另兩種分子釋放出臭氧。在不飽和的有機物中，臭氧可以非常迅速地起作用。這三個氧原子加在一起成了兩個或三個鍵。臭氧還可作為效率高滅菌劑，破壞分子壁，使細菌、病毒、真菌等微生物失活。
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