日本pureron超高純度小型氣體凈化器GP/GPF系列
日本pureron超高純度小型氣體凈化器GP/GPF系列
超高純度小型氣體凈化器 GP/GPF系列
- 不同條件下，可去除可惰性氣體和特殊氣體中1PPB以下的水分、氧氣、氫化物等雜質。
- 內置的初步過濾用的濾材全部標準使用SUS316L，不會引起腐蝕產生生顆粒等化學反應。
- HBr、HCl等強腐蝕性特殊氣體中所含水分，100PPB（分析裝置的檢測界限）以下可以去除。
- 小型、輕量的GP-05型和過濾器同樣大小（長度84mm），僅重120g。
- 根據不同氣體類型，350℃－400℃的加熱再激活處理可在使用壽命期限內多次重復使用。
| 凈化能力 | 雜質：1PPB以下 出口側雜質合計：10PPB以下 （和條件相關） |
|---|---|
| 材質 | 外罩：SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 濾材：SUS316L 凈化劑：金屬?吸氣劑、其它 |
| 流量范圍 | 0.5LPM～20LPM（隨類型/壓力條件變化） |
| 使用壓力 | 0.97MPa（140.65PSIG） |
| 使用溫度 | 室溫或者350～400℃（隨用途變化） |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec 以下 |
| 連接零件 | 1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal |
氣體凈化器
超高純度氣體凈化器能夠高效率除去惰性氣體和特種氣體中的水分、氧氣、碳氫化合物等雜質。
- GP/GPF系列： 凈化材料：金屬、吸氣劑、其它
- GPFC系列： 凈化材料：單一球狀活性炭
