UV光解等離子廢氣處理等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，同時產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，后生成無害產(chǎn)物。物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導(dǎo)致微生物死亡。

UV光解等離子廢氣處理機理：

等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞的化學(xué)能量在反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

 (1)電場+電子→高能電子

 (2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

 (3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

 (4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。