消毒滅菌設備臭氧發生器選型在濕度為70%~80%的情況下，臭氧滅菌效果理想，但濕度低于45%時效果較差，因此一般使用中，尤其是在制藥車間無菌室、病房等使用時，應注意適當增加環境濕度。
使用消毒滅菌設備臭氧發生器選型消毒時應注意：臭氧滅菌效果K=實際臭氧濃度C+作用時間T即K=C×T，而實際臭氧濃度C=達到滅菌閥值濃度Cmin時，即使延長時間，在實際操作中，恐怕也不會有滅菌效果。用于空氣消毒的臭氧應按不同的應用空間、不同的消毒滅菌目的使用，而采用不同的臭氧產生量和臭氧發生濃度的臭氧發生裝置，其臭氧產生量是指以自然擴散方式，以固定體積30分鐘的濃度計，單位是mg/m³，其臭氧產生量是根據臭氧產生量隨時間累積的濃度，計算得出的參數標準是臭氧產生量、臭氧產生量。因此用于空氣消毒的臭氧消毒產品應標明消毒濃度和消毒時間指標。此外，還需要向用戶說明兩項一般指標，即應用空間臭氧安全指標和產品壽命指標等。例如普通除臭劑、除臭劑等，濃度一般不超過0.05ppm。如用于室內消毒，則一般掌握在0.1~1ppm；物體表面或病區一般要求有較高的濃度。
臭氧消毒的安全性在廣泛試驗中，臭氧安全主要通過吸入途徑，而持續、的吸入試驗表明臭氧不會致癌（NTP，1995）；但對呼吸系統有明顯的刺激作用，在暴露于環境時會影響呼吸功能。因此，建議用臭氧消毒空氣時，要在無人看管的環境中進行，消毒結束后過半小時再進入人員。
